德國(guó)INFICON Transpector MPH/MPS質(zhì)譜儀

德國(guó)INFICON Transpector MPH/MPS質(zhì)譜儀產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

INFICON, RGA為您提供標(biāo)準(zhǔn)的和高性能的殘余氣體分析儀來(lái)滿足您真空應(yīng)用的需要. Transpector MPS 和Transpector MPH 均具有工業(yè)的數(shù)據(jù)收集速率, *小的可檢分壓(MDPP) 和訊噪比. 加上低的總體擁有成本和高的平均時(shí)間(MTBFs), Transpector MPS 和 Transpector MPH 幫助您的收益底線遠(yuǎn)超過(guò)市場(chǎng)上其它RGA系列產(chǎn)品.

1、TRANSPECTOR MPS–氣體分析的標(biāo)準(zhǔn)

Transpector MPS 設(shè)計(jì)用于要求具有驗(yàn)證的 Transpector 品牌的高耐用性能,一般真空應(yīng)用中的 RGA 分析. 質(zhì)量范圍100 或200 amu 的 Transpector MPS 提供標(biāo)準(zhǔn)的監(jiān)測(cè)性能. RGA 的標(biāo)準(zhǔn)裝備是法拉第杯檢測(cè)器,當(dāng)需要監(jiān)測(cè)低濃度氣體時(shí), 可選用電子倍增器檢測(cè)器.

2、TRANSPECTOR MPH–高性能用于高要求的應(yīng)用

Transpector MPH 設(shè)計(jì)用于要求 RGA 具有*高監(jiān)測(cè)性能的應(yīng)用中. Transpector MPH 可提供 100, 200 和 300 amu 三種不同的質(zhì)量范圍, 具有工業(yè)上*低的 MDPP. TranspectorMPH 可裝備法拉第杯或電子倍增器檢測(cè)器, 以及提供可選的校準(zhǔn)氣體, 用于簡(jiǎn)易和RGA 質(zhì)量標(biāo)度自動(dòng)調(diào)諧的校準(zhǔn)參考.

3、傳感器設(shè)計(jì)用于工業(yè)的MBTF和低的總體擁有成本

綜合地采納客戶的反饋和深入的市場(chǎng)分析, INFICON 革新了Transpector MPS 和 Transpector MPH 的離子源. 新型離子源在陽(yáng)及, 陰及和反射及的組裝件中包含兩根燈絲. 帶有備用燈絲的雙燈絲結(jié)構(gòu)可延長(zhǎng) RGA 的運(yùn)行周期和避免出現(xiàn)意外的系統(tǒng)停機(jī)故障. Transpector MPH 還提供特定應(yīng)用的燈絲選擇(鎢燈絲用于含鹵素的過(guò)程中或涂敷氧化釔的銥燈絲用于含氧的過(guò)程中) 確保過(guò)程本身不會(huì)影響燈絲的使用壽命.

在一般真空應(yīng)用中 Transpector MPS 裝備涂敷氧化釔的銥燈絲.在Transpector MPH 或 Transpector MPS 中, 更換燈絲組件等同于傳統(tǒng) RGAs 中更換整個(gè)離子源. 成本的節(jié)約將大大地降低這兩種 RGAs 的總體擁有成本.

新型傳感器結(jié)構(gòu)提供更多的, 可現(xiàn)場(chǎng)更換電子倍增器 (如裝備). 您可在定期的維護(hù)周期中快速地現(xiàn)場(chǎng)更換 EM. 新型倍增器已發(fā)展為具有更長(zhǎng)使用壽命, 提供更高的法拉第杯(FC) 靈敏度和更強(qiáng)的增益.

4、可定標(biāo)的通訊方法用于現(xiàn)代化的制造*心

Transpector MPS 和 MPH 采用以太網(wǎng)作為 RGA 與計(jì)算機(jī)之間默認(rèn)的通訊手段. 對(duì)于單傳感器運(yùn)行, 可將傳感器連接至現(xiàn)有的網(wǎng)絡(luò)或直接連接任何計(jì)算機(jī)上的以太網(wǎng)端口. 采用現(xiàn)有的網(wǎng)絡(luò)或用可選的路由器或以太網(wǎng)開(kāi)關(guān), 可實(shí)行多傳感器運(yùn)行.

5、滿足您需要的軟件

Transpector MPH 與得獎(jiǎng)的 FabGuard 程序套件是兼容的, 包括與 FabGuard 工藝集成監(jiān)測(cè)軟件和FabGuard Explorer 檢測(cè)軟件.

為易于運(yùn)行, Transpector MPS 設(shè)計(jì)于使用FabGuard Explorer 軟件. 兩種 RGAs 均配備機(jī)載的網(wǎng)頁(yè)服務(wù)器,它允許從連接網(wǎng)絡(luò)的任何設(shè)備, 無(wú)軟件運(yùn)行您的 Transpector MPS 或 MPH. 這個(gè)網(wǎng)頁(yè)服務(wù)器不僅是可查閱標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)的單個(gè)程序. 而是允許用于您預(yù)期的全部手動(dòng)數(shù)據(jù)查閱技術(shù), 包含檢漏和傳感器調(diào)諧等標(biāo)準(zhǔn)維護(hù)功能的網(wǎng)頁(yè)服務(wù)器.

德國(guó)INFICON Transpector MPH/MPS質(zhì)譜儀技術(shù)參數(shù)：

*用一個(gè)基線噪聲的標(biāo)準(zhǔn)偏差除以氮的靈敏度計(jì)算的.

**與分壓強(qiáng)測(cè)量無(wú)關(guān),用于連續(xù)的燈絲保護(hù)和分析.